Katalog firem Industry-EU s.r.o.

Plyny SIAD pro výrobu polovodičů a integrovaných obvodů se užívají v celém procesu výroby – od růstu monokrystalu křemíku přes jednotlivé fáze výroby až po konečnou kompletaci integrovaných obvodů a desek s plošnými spoji: oxidace, chemické napařování (CVD), pokovování, chránění a maskování, leptání, tepelná difuze a iontová implantace.

Plynové aplikace ve výrobě polovodičů
Spolehlivá dodávka plynů o vysoké čistotě je zásadní pro moderní výrobu polovodičů. SIAD pro výrobu polovodičů a integrovaných obvodů nabízí více než 30 různých plynů a směsí pro leptání, nanánášení, oxidaci, legování a inertní aplikace. Škála používaných plynů je širší než v kterémkoliv jiném průmyslovém odvětví. Je třeba měřit a odstranit stopové nečistoty v koncentracích p.p.m. (parts per million), v p.p.b. (parts per billion) a dokonce i v p.p.t. (parts per trillion) musí být indikovány a eliminovány.

Polovovodičové procesní plyny se třídí jako:

• prekurzory křemíku
• legující látky (dopanty)
• leptací činidla
• plyny tvořící atmosféru
• reakční plyny.

Dusík a kyslík mohou být vyráběny separačními jednotkami ze vzduchu on-site nebo dodávány jako kryogenní kapaliny, argon rovněž jako kryogenní kapalina a vodík je dodáván jako stlačený plyn.

Dusík se široce používá v řadě procesů k zajištění inertního prostředí nebo k vyplachování reaktivních plynů po ukončení procesu. 

Kyslík se používá k oxidaci křemíku, což je jedna z nejkritičtějších fází výroby polovodičů. 

Argon je používán k zabezpečení inertního prostředí při napařování kovů (kde je dokonce i dusík příliš reaktivní a vede k tvorbě kovových nitridů). 

Vodík, dodávaný ve velkém jako kryogenní kapalina nebo vyráběný na místě, je používán k tvorbě redukčního prostředí při žíhání kovových vláken nebo folií. 

Kompletní řada polovodičových procesních plynů SIAD garantuje dostatečně dlouhou použitelnost, spolehlivost a stabilitu vlastností bez ohledu na to, kde se výroba polovodičů a integrovaných obvodů nachází.