SABIC – nové, ultračisté směsi Ultra
Vzhledem k tomu, že zákazníci požadují po elektronických přístrojích stále více výkonu a funkcí, polovodičový průmysl usiluje o začlenění více funkcí do stávajících integrovaných obvodů, nebo „čipů”. Výroba nové generace čipů je fotolitografický proces s využitím argon-fluoridové (ArF) laserové technologie. Nicméně, zavedení ArF laserů bylo zpožděno nedostatkem dostatečn ě „čistých” plastů použitých v ochranných obalech (fotomasky a šablony) pro výrobní proces integrovaných obvodů. |